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| 擴散泵對各種氣體抽速的影響？ |
| 發布時間：2014-09-25 瀏覽： 次 |
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同一台擴散泵，對不同種類的被抽氣體，抽氣速率是不同的。從圖1中的相對抽速曲線可以看出，對氦的抽速可平行延伸到很高的真空度，對氫的抽速很大，這說明擴散泵對較輕的氣體抽速較大，而對油的裂解物抽速卻較小。 因此要設法減小油的裂解物產生。 擴散泵的最大出口壓力 泵的最大出口壓力主要是由最後一級噴嘴結構、尺寸，蒸氣流特性決定的;為提高最大出口壓力，必須提高蒸氣射流的密度和流量，即提高加熱功率。但提高加熱功率又會影響抽速和極限壓力。 因此，對每種擴散泵都應經過調試之後，給出最佳加熱功率。 隻要泵的出口壓力不高於其最大出口壓力泵就能正常工作。 擴散泵油的返流 油擴散泵工作時，不管使用什麽樣訥泵油，總有部分油蒸氣返流人高真空端。 這不但影響泵的極限壓力，還會對被抽容器造成汙染。采用返油率評價泵的返流特性。 返油率是指在泵人口處，單位時間，單位麵積上返回泵油的質量。 不同泵油返油率不同，同一種泵油，油溫增高時返油率加大。泵的第一級噴嘴結構、尺寸、形狀對返油率也有影響。 擴散泵返流油蒸氣的來源如圖2所示，主要有以下幾個方麵： a.凝結於頂噴嘴表麵上的油膜的再蒸發; b.泵壁上凝結油膜的再蒸發和爬移;c.噴嘴噴出的高速蒸氣射流碰到泵壁後的散射; d.油蒸氣由噴嘴噴出後，由於油蒸氣分子的熱運動、碰撞、反彈，包括泵油爆沸產生的飛濺和壓力起伏引起的油分子直接向高真空側返流。 在頂噴嘴上加一個優選形狀的擋油帽，可使返油率大大降低。這種擋油帽的擋油效果較好且對泵抽速沒有太大的影響，所以在現代擴散泵的設計中經常采用這種結構。 在頂噴嘴上方，緊貼泵壁加一擋油環，經實驗得知，返油率最多可減少20%。 在對降低泵的返油率有更高要求時，可以在抽氣係統上采用各種結構的冷阱和障板。 也可以設計成如圖4的低返油率擴散泵。另外，調好泵的最佳加，熱功率值的方法亦可使返油率減小。 在泵加熱開始和終止時，返油率將出現峰值，可以用控製泵口處的閥門的方法來克服。 相關閱讀 |
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